尾气罩

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多晶硅还原炉/氮化炉用高压电极隔热罩,采用氮化硅材料,具有绝缘性好、韧性高、耐高沤、强度高、抗热震,可防止叫棒时破坏电极,比氧化铝材质的同类产品寿命长10倍以上,综合效益提高3倍。